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    [求助]光刻机的薄膜 [复制链接]

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    离线zhoufx
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-01-22
    为什么光刻机中同时用到了增透膜高反膜?分别是用到了哪部分?
     
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    离线zhenge88
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-08-02
    透镜用增透膜,反射镜用高反膜。