刚刚下载这本书看了下，这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》，1990年浙江大学出版社出版。
oiKY2.yW 书的内容还是很全面的，共有九章，分别为：
#_U[ T 第一章 真空设备
pOmHxFOOK 第二章 制备技术
6u6, 9VG, 第三章 制备工艺因素
2Nau]y]= 第四章 薄膜材料
'^6jRI,
第五章 膜层厚度的均匀性
H[;\[ 3 第六章 薄膜的厚度监控
i& phko} 第七章 薄膜的结构特性
dyyGt }}5f 第八章 光学薄膜性质及其测量
v
?OIK=Xm 第九章 薄膜的力学性质及其检测
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