刚刚下载这本书看了下,这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》,1990年浙江大学出版社出版。
? cU9~= 书的内容还是很全面的,共有九章,分别为:
fNe9as 第一章 真空设备
5r)ndW,aN 第二章 制备技术
xa#;<8 iV 第三章 制备工艺因素
+.^BM/z^O 第四章 薄膜材料
c-1,((p 第五章 膜层厚度的均匀性
6BK-(>c(6 第六章 薄膜的厚度监控
[y$P'Y 第七章 薄膜的结构特性
vOIK6- 第八章 光学薄膜性质及其测量
J=?`~?Vbo 第九章 薄膜的力学性质及其检测
:}(Aq;}X R5OP=Q 8 [ 此帖被hithy在2013-11-16 20:43重新编辑 ]