刚刚下载这本书看了下,这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》,1990年浙江大学出版社出版。
"zqa:D26 书的内容还是很全面的,共有九章,分别为:
A2P.5EN 第一章 真空设备
P1$D[aF9$ 第二章 制备技术
G}}Lp~ 第三章 制备工艺因素
qHd7C3 第四章 薄膜材料
S5UQ
第五章 膜层厚度的均匀性
pXA|'U5] 第六章 薄膜的厚度监控
Wdj|RKw 第七章 薄膜的结构特性
_[wG-W/9R 第八章 光学薄膜性质及其测量
8;f5;7Mn 第九章 薄膜的力学性质及其检测
'Ddzlip >m%7dU [ 此帖被hithy在2013-11-16 20:43重新编辑 ]