刚刚下载这本书看了下,这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》,1990年浙江大学出版社出版。
Eei"baw/ 书的内容还是很全面的,共有九章,分别为:
r(ej=aR 第一章 真空设备
&PHejG_# 第二章 制备技术
:]EAlaB4Q 第三章 制备工艺因素
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lLhi<* 第四章 薄膜材料
!.(Kpcrg 第五章 膜层厚度的均匀性
axJuJ`+Y 第六章 薄膜的厚度监控
<eU1E}BDQ 第七章 薄膜的结构特性
VR86ok 第八章 光学薄膜性质及其测量
M2K{{pGJ[& 第九章 薄膜的力学性质及其检测
yN9k-IPI 4uQ\JD(*Eu [ 此帖被hithy在2013-11-16 20:43重新编辑 ]