刚刚下载这本书看了下，这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》，1990年浙江大学出版社出版。
kxIF#/8 书的内容还是很全面的，共有九章，分别为：
#rQ2gx4 第一章 真空设备
2*l/3VW 第二章 制备技术
h_3E)jc 第三章 制备工艺因素
pa E[rS\ 第四章 薄膜材料
J$w<$ 5UY 第五章 膜层厚度的均匀性
U@)eTHv}6 第六章 薄膜的厚度监控
V1 `o%;j 第七章 薄膜的结构特性
A> ;bHf@ 第八章 光学薄膜性质及其测量
u$Jz~:=, 第九章 薄膜的力学性质及其检测
<7Or{:Sc90 WH@,kH@ [ 此帖被hithy在2013-11-16 20:43重新编辑 ]
