刚刚下载这本书看了下,这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》,1990年浙江大学出版社出版。
tg7QX/KX 书的内容还是很全面的,共有九章,分别为:
TWdhl9Ot 第一章 真空设备
G6s3\de#U 第二章 制备技术
cCcJOhk|d 第三章 制备工艺因素
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第四章 薄膜材料
60l!3o"p! 第五章 膜层厚度的均匀性
I(<Trn 第六章 薄膜的厚度监控
O;.DQ 第七章 薄膜的结构特性
$F6GCM3Cx 第八章 光学薄膜性质及其测量
@XVx{t;g2 第九章 薄膜的力学性质及其检测
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