刚刚下载这本书看了下,这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》,1990年浙江大学出版社出版。
mlC_E)Ed5 书的内容还是很全面的,共有九章,分别为:
7A0D[?^xe 第一章 真空设备
UHr0J jQK 第二章 制备技术
dIk/vg 第三章 制备工艺因素
dXr=&@1 第四章 薄膜材料
zK.%tx}+=k 第五章 膜层厚度的均匀性
3S4'x4* 第六章 薄膜的厚度监控
rPaUDR4U 第七章 薄膜的结构特性
FPj j1U`C 第八章 光学薄膜性质及其测量
!Ld0c4 第九章 薄膜的力学性质及其检测
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