刚刚下载这本书看了下，这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》，1990年浙江大学出版社出版。
6LGl]jHf 书的内容还是很全面的，共有九章，分别为：
|/n7(!7$[v 第一章 真空设备
l y[d V.<P 第二章 制备技术
^GY^g-R 第三章 制备工艺因素
n(eo_.W2| 第四章 薄膜材料
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)x&uM! 第五章 膜层厚度的均匀性
X5[t6q! 第六章 薄膜的厚度监控
?yq= c 第七章 薄膜的结构特性
}k%6X@ 第八章 光学薄膜性质及其测量
mR@d4 (:J? 第九章 薄膜的力学性质及其检测
= wDXlAQ [(#)9/3, [ 此帖被hithy在2013-11-16 20:43重新编辑 ]
