刚刚下载这本书看了下,这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》,1990年浙江大学出版社出版。
nV+]jQ~o 书的内容还是很全面的,共有九章,分别为:
@;H1s4OZ 第一章 真空设备
P*sb@y>}O 第二章 制备技术
B3iU# 第三章 制备工艺因素
L#NW<T 第四章 薄膜材料
Dh{sVRA 第五章 膜层厚度的均匀性
iWu^m+"k 第六章 薄膜的厚度监控
z9[BQ(9t 第七章 薄膜的结构特性
MnymV;y" 第八章 光学薄膜性质及其测量
(.54`[2+L 第九章 薄膜的力学性质及其检测
h"5!puN+ f1UGDC<p9 [ 此帖被hithy在2013-11-16 20:43重新编辑 ]