上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品

发布:sbisna 2010-07-20 10:13 阅读:2314
高精准薄膜度量 系统软件分析 产品 >TZyax<:  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, W&8)yog.  
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其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 MLn\ b0  
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1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件  a 9f%p  
C.oC@P  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 O #S27.  
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2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. V.Ki$0>  
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1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) \dw*yZ^  
2.折射率n )Y@mL/_  
3.吸收系数k %(y0,?*  
4.双折射率 mu}T,+9\  
5.能隙(Eg) ZF6?N?t}h8  
6.表面粗糙度和损伤 >@9>bI+Q  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) WaYT7 :  
8.薄膜温度特性 Erd)P  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 S,~DA3  
[<p7'n3x  
应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 *P}v82C N  
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详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: j=~c( B  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 +Pm yFJH  
邮件:wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com r^|AiYI)  
网址:http://www.emdeccn.com
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