非接触式测量根据测量原理的不同,有光学测量、超声波测量、电磁波测量、红外测量、摄影测量等方式。 r~[vaQQ6L
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一、光学测量法可分为激光三角测量法、机器视觉法、莫尔轮廓法、相位测量轮廓法、扫描隧道显微镜( STM)法、光纤法、激光干涉法、激光扫描法等 。 %6j)=IOts
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1.光学三角测量法 6Q|k7*,B
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分为直射式光学三角法测量原理和斜射式光学三角法测量原理,按照测量方法可分为点光源入射、线光源入射和栅光源入射三种形式; Ru!He,k7
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2.莫尔轮廓法:是通过一块基准光栅来检测轮廓面的影栅或像栅,并依据莫尔图案分布规律推算出轮廓面形状的全场测量方法。投射在三维轮廓面上的变形光栅,其光场分布函数可表示成空间相位调制信号,待测物体偏离参考平面时因影栅条纹位置变化而引起的空间相位改变量,待测物体的高度信息就包含在这一相位调制项中; Zzua17
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3.相位测量轮廓法 ^[:9fs
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