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    [求助]镀膜机抽不动，请达人。急！！！！ [复制链接]

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    离线09njtpw
    高级工程师
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    只看该作者 12楼 发表于: 2010-08-04
    小弟我也来学学
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    离线小韩同学
    助理工程师
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    只看该作者 11楼 发表于: 2010-08-03
    学习了！
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    离线dcjlcm
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    只看该作者 10楼 发表于: 2010-07-23
    原来是坩埚密封圈有问题
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    离线dcjlcm
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    只看该作者 9楼 发表于: 2010-07-23
    谢谢解决了  
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    离线朱小朱
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    只看该作者 8楼 发表于: 2010-05-08
    继续查找看看
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    离线苏州膜头
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    只看该作者 7楼 发表于: 2010-04-25
    回 楼主(dcjlcm) 的帖子
    楼主问题解觉了吧？ @4W\RwD  
    回一个吧，交流交流。。。。
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    离线27676995
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    只看该作者 6楼 发表于: 2010-04-24
    检漏  查看扩散泵烘烤丝 在看看你的温度测环 用比较真空计检查真空计 包括高真空规管 都OK了的话 再换油  先烧油10小时以上 不停抽 到5.5 充气再抽 到正常为止 ！不能正常的话 再拆泵 检查 扩散泵 找找扩散泵原理的资料 1.2.3级排气有啥问题 ！有问题的话  能加工修复最好  没问题换泵  南光的泵不怎么地 呵呵 就是麻烦
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    离线苏州膜头
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    只看该作者 5楼 发表于: 2010-02-15
    回 楼主(dcjlcm) 的帖子
    首先查看扩散泵油温，油量，油质。 6f5sIg  
    如果没问题就关机，过一晚，看看第2天的真空度能否保持在50帕以内不行就检漏吧，电子枪，温控探头，通光窗口等重点检查。
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    离线yaocs633
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    只看该作者 4楼 发表于: 2009-10-07
    真空漏气继续找 q9a wzj  
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    离线wlinliu
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    只看该作者 3楼 发表于: 2009-10-05
    一般这种情况会是漏气，要么就是真空炉内有水气或油迹
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