[求助]镀膜机抽不动，请达人。急！！！！ [复制链接]

此机之前的故障是抽真空只能抽到5.5*10-3帕，然后再抽几个小时都抽不下来一直在5.5*10-3帕左右。之后对该机清洗扩散泵更换泵油，对整个真空室进行彻底清理，更换高筏轴心密封圈，挡板密封圈，公转密封圈。之后再抽真空冷抽可以抽到7.9*10-4帕，扩散泵能抽到1.2*10-4帕，热抽只能抽到3.6*10-3帕就又抽不动了一直在3.6*10-3帕左右 好象和之前的情况一样，对多个可能漏气的地方我都进行了捡漏可是都没有发现有漏的地方，实在是搞不明白。请那位高手指点指点，在此谢过！我的电话是0757-81694529 。

不错啊  多谢楼主分享

高筏轴心密封圈

用检漏仪简陋

xiexie

真空检测设备出现问题   清理或更换

怎么解决的 上来回个话啊

应该继续查漏点

引用第10楼dcjlcm于2010-07-23 02:20发表的 : Z_ gVYa  
原来是坩埚密封圈有问题 doO Ap9%  

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果然还是漏气！！！

引用第6楼27676995于2010-04-24 23:58发表的 : Vo 6y8@\  
检漏  查看扩散泵烘烤丝 在看看你的温度测环 用比较真空计检查真空计 包括高真空规管 都OK了的话 再换油  先烧油10小时以上 不停抽 到5.5 充气再抽 到正常为止 ！不能正常的话 再拆泵 检查 扩散泵 找找扩散泵原理的资料 1.2.3级排气有啥问题 ！有问题的话  能加工修复最好  没问题换泵  南光的泵不怎么地 呵呵 就是麻烦 \l]pe|0EW  

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这个专业，楼主照做，胆大心细，没问题