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[讨论]请教关于光控预镀层的问题! [复制链接]

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离线holdout

技术员

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只看楼主正序阅读楼主发表于: 2009-07-03

一般我们要镀多层膜的时候,直接用k9的玻璃做监控可能不是很好控制,所以要预先在k9的控制片上镀上其他材料的膜!但是这个预镀层材料的选择和厚度以什么为标准来定呢?
望大家赐教!

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离线morningtech

助理工程师

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只看该作者 4楼发表于: 01-13

预镀层改变光控片的组合导纳，从而改变真正成膜时光量的走势。提高判断准确度。

设想，要求镀 200nm厚 SiO2，折射率 1.44。
1.44*200 = 2 *576/4，即用 576nm波长监控时，走两个极值。
光控片是玻璃或石英时，光量变化幅度很小，光控很难判断。
如果用 576nm 波长将光控片预镀HLH，H是高折射率材料。假如H=2.2，那么此时再镀 SiO2时，它的透过率起伏幅度可以达到 25%。同样走两个极值，但容易判停了。
在只有单一波长监控下，还是很有用的。