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    [原创]基于X-Ray LIGA工艺的三维针状结构的多种制造方法 [复制链接]

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    离线xujia008
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-07-01
    关键词: 激光加工LIGA
    MEMS的课程论文,写得比较认真,希望对大家有用^_^  传上来挣点分…… 'dWUE-  
    \i+AMduAo  
    本文主要对具有代表性的三维结构——针形阵列的多种制造工艺作出介绍。包括: Q~(Qh_Ff  
    1、移动掩模深X射线光刻(Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL)技术 8XYxyOl  
    2、改变X射线入射方向的二次曝光方法 [;{xiW4V]  
    3、水平型正交横截面技术(Plane-pattern to cross section transfer,PCT) hrnE5=iY  
    4、X射线灰色掩模技术 8KJ`+"<=@  
    并对最新的制造方法:X射线灰色掩模(X-ray gray mask)光刻技术做详细介绍。
    1条评分
    cyqdesign 金钱 +10 - 2008-07-01
     
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    离线wangaina
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    只看该作者 1楼 发表于: 2008-11-06
    真是太好了 正是我想要的
    离线kevinweng
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    只看该作者 2楼 发表于: 2009-02-25
    感謝囉~學習研究一下~