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[原创]基于X-Ray LIGA工艺的三维针状结构的多种制造方法 [复制链接]

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离线xujia008

技术员

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2008-07-01

关键词：激光加工 LIGA

MEMS的课程论文，写得比较认真，希望对大家有用^_^ 传上来挣点分……

本文主要对具有代表性的三维结构——针形阵列的多种制造工艺作出介绍。包括：
1、移动掩模深X射线光刻（Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL）技术
2、改变X射线入射方向的二次曝光方法
3、水平型正交横截面技术（Plane-pattern to cross section transfer，PCT）
4、X射线灰色掩模技术
并对最新的制造方法：X射线灰色掩模（X-ray gray mask）光刻技术做详细介绍。

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cyqdesign

金钱 +10

2008-07-01