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    [原创]基于X-Ray LIGA工艺的三维针状结构的多种制造方法 [复制链接]

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    离线xujia008
    技术员
     
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    光币
    448
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-07-01
    关键词： 激光加工LIGA
    MEMS的课程论文，写得比较认真，希望对大家有用^_^  传上来挣点分…… &K"qnng/y  
    Vg`32nRN  
    本文主要对具有代表性的三维结构——针形阵列的多种制造工艺作出介绍。包括： d-UQc2r  
    1、移动掩模深X射线光刻（Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL）技术 $Ehe8,=fj  
    2、改变X射线入射方向的二次曝光方法 ^hwTnW9Z1:  
    3、水平型正交横截面技术（Plane-pattern to cross section transfer，PCT） om0g'Qa  
    4、X射线灰色掩模技术 |HTTTz9R.  
    并对最新的制造方法：X射线灰色掩模（X-ray gray mask）光刻技术做详细介绍。
    共1条评分
    cyqdesign 金钱 +10 - 2008-07-01
     
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    离线wangaina
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2008-11-06
    真是太好了 正是我想要的
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    离线kevinweng
    实习生
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    34
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2009-02-25
    感謝囉~學習研究一下~
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