[原创]基于X-Ray LIGA工艺的三维针状结构的多种制造方法 [复制链接]

MEMS的课程论文，写得比较认真，希望对大家有用^_^  传上来挣点分…… Q+d9D1b  
lM1Y }  
本文主要对具有代表性的三维结构——针形阵列的多种制造工艺作出介绍。包括： }R.<\  
1、移动掩模深X射线光刻（Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL）技术 -"u9s[L{  
2、改变X射线入射方向的二次曝光方法 \}O'?)
(1  
3、水平型正交横截面技术（Plane-pattern to cross section transfer，PCT） j5lSu~  
4、X射线灰色掩模技术 Jf<+VJ>t  
并对最新的制造方法：X射线灰色掩模（X-ray gray mask）光刻技术做详细介绍。

真是太好了 正是我想要的

感謝囉~學習研究一下~