根据激光束与材料相互作用的机理,大体可将激光加工分为激光热加工和光化学反应加工两类。 V q[4RAd^P
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激光热加工——是指利用激光束投射到材料表面产生的热效应来完成加工过程; M{jJ>S{g
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光化学反应加工——指激光束照射到物体,借助高密度高能光子引发或控制光化学反应的加工过程。 ;L@p|]fu
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激光热加工包括激光焊接、激光切割、表面改性、激光打标等; 3^,p$D<T:,
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光化学反应包括光化学沉积、立体光刻、激光刻蚀等。