[求助]镜片膜裂问题 [复制链接]

1. 打底层最好用TiO2 $]t3pAI[H0  
2. 机器不要加温，把能量放到IBS这边； b>Em~NMu_  
3. IBS的能量要有一个梯度 LX2Re ]&  
4. 整个镀膜后的温度要用测温纸测一下，以此来判断你IBS的energy是否合理

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膜裂一般是由应力产生的，一般来讲，张力会造成膜裂。 e=u?-8  
而在常温下，SiO2表现为张力，TiO2表现为压力。 !/RL.`!>  
所以按原理来讲，第一层镀TiO2对膜裂的改善会比较好。 JKy06I  
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而且从附件论文的数据来看，开IAD比不开要好。 UOYhz.  
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但是如果膜裂是由吸水造成的，那又是另外一种情况。 P4{!
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最好用卤素灯加热一下，镀膜前再离子源打一下做一下表面的清洁。 UsQh
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只要不超过90度是没什么问题的。

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