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摘 要 tC+9W1o "xdJ9Z-B 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 U]sU
b3 w8%yX$< 建模任务 SX}GKu |xzqYu?o
v >3ctP{ 9\)NFZ3Mz 倾斜平面下的观测条纹 ,Ucb)8a wrG*1+r
`n-e.{O(( i/xPO 圆柱面下的观测条纹 X_
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HXU"]s2Z +bm2vIh$ 球面下的观测条纹 17D167\X VhSKtD1 va8:QHdU |iM*}Ix- VirtualLab Fusion 视窗 },a|WL3^ q1dYiG.-Z |ry;'[* b&~uK"O'7d VirtualLab Fusion 流程 {>FA ~}cX. W&06~dI1!
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