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摘要 1mJbQ#5 G;(onJz 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 JsmbW|t^ n}< ir!ZTO
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\Y*!f|=of p1Q/g Il 在VirtualLab Fusion中查看 ]{YN{ {bN Y mT96]V\ 8NnhT E VirtualLab Fusion的工作流程 }%eDEM 8)N0S% B •构造光栅结构 y:Z$LmPc< - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] lZ}P{d'f. - 倾斜光栅的高级配置[用例] 43KaL( •分析光栅衍射效率 Ll,I-BQ9 - 光栅级次分析器[用例] T`uDlo •使用参数优化优化光栅参数 _zdNLwE[ •使用参数运行进行容差分析 1{^CfamF - 参数运行文档的用法[用例] &a.']!$^" 'r~8
5)w4)K-% Zw+=ng.q? VirtualLab Fusion技术 M3ZOk<O<R Tj=gRQ2v
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