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摘要 _%HyXd :A{ US9D 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Dab1^H!KT JUlV$b.)J
ei8OLcw:x 'J`%[,@V 建模任务 kEQ${F{ kOGpe'bV
?N|B, F f}'E|:Z 7k 1阶的参数优化 y8KJoVPiM v?7.)2XcX
r$*p 8L?35[]e 结果-容差分析 R9->.eE eFPDW;
*}\!&Zk" =B(zW.Gf 结果-容差分析 Iky'x[p,D $siiG|)C1
* SG0-_S G!54 e 在VirtualLab Fusion中查看 }cll? 2 ]~z2s;J{/ H5Rn.n( | otXB:a VirtualLab Fusion的工作流程 ?.:C+*+ ]y,6 •构造光栅结构 *fq=["O - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] Aov=qLWJ - 倾斜光栅的高级配置[用例] l|fOi A*K •分析光栅衍射效率 +[JGi"ca - 光栅级次分析器[用例] 5vL]Y)l •使用参数优化优化光栅参数 {O6f1LuH •使用参数运行进行容差分析 :Q\b$=,: - 参数运行文档的用法[用例] &Q^M[X IN!m
bgd1j,PWbW d;ElqRC& VirtualLab Fusion技术 YXJjqH3 8KD7t&H
O1@xF9< -O_5OT4 文件信息 S5'BXE, X; T(?,,
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