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    [技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-20
    摘要 kc']g:*]Y  
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    对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 9 @*>$6  
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    设计任务 #_sVB~sn@  
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    1级参数优化 1L qJ@v0  
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    结果-容差分析 D)cwttH  
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    结果-容差分析 :%]R x&08  
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    VirtualLab Fusion一瞥 \)kAhKtG  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 4c@F.I  
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    构建光栅结构 +mv%z3"j;  
    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] t^;Fq{>  
    −倾斜光栅高级设定[用例] t ?'/KL  
    •光栅衍射效率分析 hd%F7D5  
    −光栅阶序分析器[用例] XYTcG;_z  
    •使用参数优化进行光栅参数优化 L KR,CPz  
    •使用参数运行的容差分析     p}X87Zq  
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    VirtualLab Fusion技术 8[IifF1M=&  
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    文件信息 %z(=GcWm  
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