切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 109阅读
    • 0回复

    [技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-20
    摘要 iEnDS@7  
    3^C  
    对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Td?a=yu:J  
    IRD?.K]*  
    W* N^Gp@  
      z7>  
    设计任务 gLU #\d]  
    &_G^=Nc,H  
     $o5<#g"/T  
    tvavI9  
    1级参数优化 z^@98:x  
    Bh<)e5lP:  
     {4\(HrGNk  
    <$/'iRtRzW  
    结果-容差分析 ?bW|~<X~  
    ~:v" TuuK  
     3y<;fdS7  
    "/g/Lc  
    结果-容差分析 oF8#gn_  
    ?o?~Df&  
     HvLvSy1U  
    ~}PB&`%7  
    VirtualLab Fusion一瞥 \= =rdW-  
    hv2@}<r?  
     : OQx;>'  
    ]gx]7  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 { LZ` _1D  
    rK7m(  
    构建光栅结构 6O>NDTd%  
    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ?%d]iTZE  
    −倾斜光栅高级设定[用例] GB&<+5t2  
    •光栅衍射效率分析 f+d[Q1  
    −光栅阶序分析器[用例] K`Vi5hR~c  
    •使用参数优化进行光栅参数优化 Pm*FA8a7  
    •使用参数运行的容差分析     .0}]/%al  
    H}Z\r2  
    ,* !HN &  
    1<IF@__  
    VirtualLab Fusion技术 BUvE~l.,|  
    B"P-h^oiV  
     g 67;O(3  
    OXAr..  
    文件信息 ]rY:C "#  
    /?C}PM  
     {$5?[KD  
    [+j }:u  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表