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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-16
    摘要 AE~}^(G`  
    QR8 Q10  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 "6h.6_bTw  
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    建模任务 bsDUFXH]  
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    仿真干涉条纹 CKx}.<_  
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    走进VirtualLab Fusion cVi CWc2  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 ~Y[b QuA=)  
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    •设置输入场 ;B@l0)7(x  
    −基本光源模型[教程视频] 6jA Q  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 n`1i k'x?  
    •定义元件的位置和方向 A 2 )%+  
    − LPD II:位置和方向[教程视频] 21Opx~T3  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 .$;GVJ-:5  
    −非序列追迹的通道设置[用例] C\K--  
    •使用参数运行检查影响/变化 c7 -j  
    −参数运行文档的使用[用例] "Y6mM_flq  
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    VirtualLab Fusion技术 C7:Ry)8'I  
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    文件信息 /PlsF  
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