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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-16
    摘要 ( bwD:G9  
    BP/nK.  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Be6Yh~m  
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    仿真干涉条纹 j|!,^._i  
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    走进VirtualLab Fusion Af3|l  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 3h7RQ:lUi  
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    •设置输入场 =%<=Bn  
    −基本光源模型[教程视频] fyQOF ItM  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 Pn,I^Ej.  
    •定义元件的位置和方向 YR?Y:?(  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] Iz0$T.T  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 aTcz5g0"  
    −非序列追迹的通道设置[用例] (/:m*x*6  
    •使用参数运行检查影响/变化 @KQ>DBWQM  
    −参数运行文档的使用[用例] '=dQ$fs  
     T^v763%  
    sT^R0Q'>  
    JK$3qUDnI  
    VirtualLab Fusion技术 8$IKQNS  
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    文件信息 h/EIFve  
    u8-6s+ O  
    9c@M(U@Yh  
     
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