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摘要 y6fYNB J%{>I 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 F.4xi+S_ `j9 ;9^
t~3!| @3i +Y-Gp4" 建模任务 fTMn nwf(`=TC `#R[x7bA1 A|7%j0T 倾斜平面下的观测条纹 `Ps&N^[ #mFIZMTRd
b-,4< H8m f]Xh7m(Gh 圆柱面下的观测条纹 a0~LZQ? FG/1!8F )1N~-VuT *|Tx4Qt 球面下的观测条纹 f["c,,[ 0.+MlyA Phr+L9Eog \(C6|-:GY VirtualLab Fusion 视窗 ;X , A|m$( s^#B* \8g'v@$wG VirtualLab Fusion 流程 )\Am:?RH; g=n{G@ *N FN\*x:g 设置入射场 _\;0E!=p *PM#ngLX}r - 基本光源模型[教程视频] R.(PZC vS 定义元件的位置和方向 %vUY|3G |0OY>5 - LPD II: 位置和方向[教程视频] LGB}:;$AL 正确设置通道的非序列追迹 XlLG/N
DaP,3>M - 非序列追迹的通道设置[用户案例] ,+~8R"
{>g{+Eq xu\s2x$ VirtualLab Fusion 技术 6dgwsl~ "zj[v1K9-A
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