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摘要 %Sw hNn
^qV6 khg 参数的系统性变化对复杂光学系统的详细研究具有重要意义。VirtualLab Fusion允许通过所谓的参数运行功能来实现参数的变化。通过使用参数运行，可以根据分析任务的需求任意配置这些变化。此外，特殊的可编程模式允许自由配置，以提供完全可自定义的参数变化。通过实例介绍了该可编程模式的应用。 vp`s< ;CA
{@>6E8)H5
 ? 9;r|G 2w>yW] 参数运行的初始化 ;% PI Z1oUAzpj4
 8J 8@0 rIJd(= 参数的选择和变化范围 n<Z1i)
@fI 2ZWN| 在第二页，必须选择参数运行的模式 9oxn-) 6JC 在下表中，可以选择所需的变化参数，以及相应的变化范围和变化步数 cGS7s 8 U 在这个例子中，矩形光栅的周期和高度是变化的 >jpk R p$l'y""i
 AR7]~+ X [,ZHn$\ 参数运行的自定义 ] F2{:RW X5c)T}pyv
 v)rQ4
wD: SJ8|~,vL 参数运行的自定义 X&cm)o%5Fe
'" J``= 在下一页，显示了配置的参数运行的迭代 ~3qt<" #>O>=#Q
 yIma 7H@=L 0Y9fK? ( 参数运行的设置 U t .#h=" 接下来，对于参数运行的所有模式，必须选择所需的仿真引擎和/或分析器。 ,2lH*=m; 在本例中，只使用了光栅级次分析器 wZKEUJpQ tz/NR/[  (z IIC"~5
)je d@? 参数运行的设置 c_FnJ_+ +f 然后单击Go开始计算 kr>F=|R] 计算完成后，所有结果如下表所示。 Hjc *W Tu
03a<Cd/S  Gw?$.@L'I6 KN"<f :u 文件信息 lW3wmSWn% L<_zQ Vv3:x1S  &,C;_3
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