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    [技术]薄元近似与FMM/RCWA [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 09-24
    作为衍射光学领域广泛使用的方法,薄元近似(TEA)在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面,当衍射光栅的周期小到可以与波长相比较时,这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓(正弦和闪耀),并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析,用来比较两种方法的结果。 arIEd VfNa  
    GO?hB4 9T  
    用于光栅建模的TEA与FMM InI>So%e|<  
    l+#J oc<8  
    WNY:HH  
    我们同时使用TEA和FMM(也称为RCWA)来分析两种周期不同的光栅(正弦光栅和闪耀光栅),并比较了两种方法的结果。 zO`4W!x&  
    _ amP:h  
    闪耀光栅的傅里叶模态分析 ]A ;.}1'  
    O8 OAXRt/Y  
    7nm'v'\u+V  
    在VirtualLab Fusion中,傅里叶模态方法(FMM)可用于光栅效率的严格分析。 9X?RJ."J  
     
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