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摘要 .K^gh$z! ?4%#myO3a 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 :JBtqpo2 KYkS^v
\=RV?mI3? ,MHK|8! 建模任务 Eva&FHRTY 4NRj>y
!gyW15z' 6a9:P@tY 正弦光栅—效率与高度(TEA) R{H8@JLD Y, Lpv|
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Q4O 正弦光栅—透射相位曲线 p}~Sgi fvta<
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L \1?'JdN 正弦光栅—衍射效率 b$Ei>%'/"; fM&
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@5??`n 1JOoICjB VirtualLab Fusion一瞥 n%}#e! `PLax@]2
C%%gCPI^y i}f" 'KW VirtualLab Fusion工作流程 3C;;z `Um-Y'KE [tC=P&< • 设置光栅结构 I!lR 7% −使用界面配置光栅结构[用户案例] 1;,<UHF8N • 分析光栅衍射效率 B<.ZW}#v −光栅阶次分析器[用户案例] _K!)0p • 通过参数运行检查不同参数的影响 ~XXNzz]? − 利用参数运行文档[用户案例] AYsHA w g^#,!e
=RM]/O9 YoK )fh$ VirtualLab Fusion技术 "ChJR[4@ {EVy.F
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