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摘要 I )wc&>Lc
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 @Z2 ^smf
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正弦光栅—透射相位曲线
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YI>9C 76L VirtualLab Fusion一瞥 \aN7[>R.Q
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 35J VF*z lvx[C7? VirtualLab Fusion工作流程 ^hcK& <%.lPO]&E _ rg*K
• 设置光栅结构
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−使用界面配置光栅结构[用户案例] m- bu{
• 分析光栅衍射效率 o)n= n!A
−光栅阶次分析器[用户案例] -S#j Or
• 通过参数运行检查不同参数的影响 w xJoWbn
− 利用参数运行文档[用户案例] Pkv+^[(4
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 "B>8on8O "U/yq VirtualLab Fusion技术 6^lix9q7
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