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    [培训]衍射光学元件设计仿真与测量验证技术开放日第二期9.21日 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-31
    PART1 El}~3|a?  
    OfLj 4H 6Q  
    开放日活动概述 =>*}qen  
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    衍射光 学元件(DOE)作为现代光子学核心技术,正重塑半导体光刻、激光加工、AR/VR、车载激光雷达等关键领域。其通过微纳结构精准调控光场的能力,是光学系统小型化、轻量化与性能突破的核心支撑。然而,DOE 复杂的光场设计、严苛的制造公差要求、以及与实际光源的匹配难题,叠加设计仿真与实物验证脱节、试错成本高、迭代周期长等问题,一直是行业核心痛点。 7\dt<VV  
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    如何在研发阶段通过严格物理光学仿真,提前验证 DOE 的设计合理性、衍射性能与可制造性,大幅降低研发风险?VirtualLab Fusion 光之数字模型平台,以电磁场为通用交互语言,为 DOE 提供从概念到制造的端到端解决方案。不同于传统光线追迹工具,它可精准模拟衍射、干涉等核心物理效应,精确预测衍射效率、光场分布等关键性能,并在设计阶段定义可测量的微纳结构参数与公差标准。 ddYb=L+_b  
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    当 DOE 设计落地为实物,又该如何高效完成其微米级周期结构、纳米级台阶高度、全域面形均匀性等核心参数的精密表征,验证设计性能达成率?本次活动联合中科霖仪,通过 TOPOS 系列非接触式全自动化扫描白光干涉仪,捕捉近原子尺度表面形貌细节,精准测量台阶高度、周期、线宽、面形 PV/RMS 等参数,实现 DOE 从仿真设计到实物测量的无缝闭环。 _)CCD33$  
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    PART2 0l(G7Ju  
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    活动安排 ,[n=PJVw/  
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    1.衍射光学元件设计概述 2V @ pt  
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    衍射光学元件介绍(匀光器、分束器、扩散器) ~N2 [j  
    dDe$<g5L4  
    DOE元件设计算法-IFTA 2J(,Xf  
    7n#Mh-vq  
    2.VirtualLab Fusion光之数字模型平台简介 yWYsN  
    J<L"D/  
    光学数字模型及对应的仿真算法 :2L-Nf  
    ?f6Fj  
    跨尺度元件仿真能力 g C@=]Y  
    >+BLD  
    3.衍射光学元件设计实战 M4XU*piz  
    =rNI&K_<  
    激光匀化衍射光学元件设计 E-rGOm" m  
    g*U[?I"sC  
    分光/图案式衍射光学元件设计 GQkI7C  
    *fDhNmQ `  
    4.衍射光学元件设计结果的测量验证 ~:A=o?V2  
    X{5(i3?S  
    白光干涉测量的核心验证能力 a '<B0'  
    %tz foiJ%P  
    基于白光干涉仪的衍射光学元件设计-验证联动演示 g<4@5OQKu  
    {NIE:MXX  
    5.技术答疑与现场检测服务件设计结果的测量验证 o 3 G*   
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    有兴趣参与学习可联系作者18019382784
     
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