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[font=arial, ] [uLsM<C [font=arial, ]内容简介 [font=arial, ] ;i'[c` [font=arial, ]Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。[font=arial, ] x5mg<y2`Ng [font=arial, ]《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。[font=arial, ] %W)pZN} [font=arial, ]薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。[font=arial, ] 7.6L1srV [font=arial, ][font=arial, ] H;l_;c` 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 [font=arial, ] Y)+q[MZ R 目录 9 fYNSr Preface 1 7t:tS7{} 内容简介 2 'A3skznX{ 目录 i VqpC@C$ 1 引言 1 v{fcQb 2 光学薄膜基础 2 . R/y`:1:W 2.1 一般规则 2 UL{J%Ze=~ 2.2 正交入射规则 3 % hvK;B?Y| 2.3 斜入射规则 6 ]|+M0:2? 2.4 精确计算 7 L/V^ #$ 2.5 相干性 8 Z>Mv$F"p: 2.6 参考文献 10 9;?u% 3 Essential Macleod的快速预览 10 Zo yO[# 4 Essential Macleod的特点 32 ^}B,0yUu' 4.1 容量和局限性 33 C5,fX-2Q 4.2 程序在哪里? 33 R]iV;j| 4.3 数据文件 35 ,0q1Id 4.4 设计规则 35 q*3keB;X 4.5 材料数据库和资料库 37 ?!6Itkg 4.5.1材料损失 38 %dFJ'[jDL 4.5.1材料数据库和导入材料 39 6AGZ)gX 4.5.2 材料库 41 "8{A4N1B5 4.5.3导出材料数据 43 *_o(~5w-K 4.6 常用单位 43 voRry6Q; 4.7 插值和外推法 46 g}xL7bTlI> 4.8 材料数据的平滑 50 UI+6\ 3 4.9 更多光学常数模型 54 I/MY4?(T 4.10 文档的一般编辑规则 55 ]myRYb5Z 4.11 撤销和重做 56 L2ydyXIsd 4.12 设计文档 57 Mzp<s<BX 4.10.1 公式 58 yJq< &g 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 yXJ25Axb 4.10.3 沉积密度 59 h<`aL;.g 4.10.4 平行和楔形介质 60 kz7FQE 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 R[a-" 4.10.4 性能 61 '\tI| 4.10.5 保存设计和性能 64 ~\jP+[>M' 4.10.6 默认设计 64 VP~2F
E 4.11 图表 64 6FA+qYSV 4.11.1 合并曲线图 67 >|E]??v 4.11.2 自适应绘制 68 QLWnP- 4.11.3 动态绘图 68 'bi;Y1: 4.11.4 3D绘图 69 f\]?, 4.12 导入和导出 73 :*M?RL@j 4.12.1 剪贴板 73 J**(7d 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 i}sAF/ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 fRQ,Z 4.13 背景 77 <\~v$=G 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 HcsVq+ 4.15 生成Rugate 84 w`)5(~b 4.16 参考文献 91 h|CZ~ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 oS fr5
i 5.1 Jobs 92 -WlYHW 5.2 创建一个新Job(工作) 93 f^uiZb 5.3 输入材料 94 S\g9@g. 5.4 设计数据文件夹 95 lFjz*g2' 5.5 默认设计 95 <+oh\y16 6 细化和合成 97 XB7Aa) 6.1 优化介绍 97 b&:v6#i 6.2 细化 (Refinement) 98 ny5P*yWEh 6.3 合成 (Synthesis) 100 d m8t~38 6.4 目标和评价函数 101 im2mA8OH 6.4.1 目标输入 102 eU1F7LS 6.4.2 目标 103 $[>{s9E 6.4.3 特殊的评价函数 104 nK1eh@a9Qv 6.5 层锁定和连接 104 {dpC;jsW1 6.6 细化技术 104 eiKY az 6.6.1 单纯形 105 h0tiWHw 6.6.1.1 单纯形参数 106 `Nx@MPo 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Vp/XVyL}R 6.6.2.1 Optimac参数 108 6]brL.eGj 6.6.3 模拟退火算法 109 :?6HG_9X 6.6.3.1 模拟退火参数 109 .xJ54Vz 6.6.4 共轭梯度 111 q]?qeF[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 NN*L3yx 6.6.5 拟牛顿法 112 $ZM'dIk? 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 EN!C5/M{& 6.6.6 针合成 113 W"c\/]aD 6.6.6.1 针合成参数 114 ?+t;\ 6.6.7 差分进化 114 8RMM97@1Q 6.6.8非局部细化 115 ,hn#DJ) 6.6.8.1非局部细化参数 115 U>2KjZB 6.7 我应该使用哪种技术? 116 |[?Otv 6.7.1 细化 116 5Z>a}s_i 6.7.2 合成 117 {rc3`<% 6.8 参考文献 117 .4zzPD$1 7 导纳图及其他工具 118 fDy*dp4z 7.1 简介 118 "ko*-FrQ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 z%8`F%2 7.2.1 四分之一波长规则 119 sFpg 7.2.2 导纳图 120 9\Jc7[b 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 FRQ.ix2 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 @xWWN 7.5 斜入射导纳图 141 YSP\+ZZ 7.6 对称周期 141 6$urrSQ`N0 7.7 参考文献 142 A9xeOy8e 8 典型的镀膜实例 143 Tb i?AJa} 8.1 单层抗反射薄膜 145 qp})4XT v 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 \CjJa(vV 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 )'+[,z ;s 8.4 W-膜层 148 Cbff:IP 8.5 V-膜层 149 32ki ?\P 8.6 V-膜层高折射基底 150 5P!ZGbG 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 sX1DbEjj[o 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 *K/K97 8.9 四层抗反射薄膜 153 OJ&'Z}LB 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <2pp6je\0s 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Y#F.{i 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 L$PbC!1 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 h#YO;m2wd 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 v@\S$qU2 8.15十五层宽带抗反射膜 159 0s;~9> 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Y$JVxly 8.17 1/4波长堆栈 162 AU9C#;JD 8.18 陷波滤波器 163 o/{`\4 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 u@_|4Bp," 8.20 褶皱 165 #/YS 8.21 消偏振分光器1 169 ~J].~^[ 8.22 消偏振分光器2 171 \IL)~5d 8.23 消偏振立体分光器 172 _Raf7 W 8.24 消偏振截止滤光片 173
~@'wqGTp 8.25 立体偏振分束器1 174 YS|Dw'%g / 8.26 立方偏振分束器2 177 2y`h'z 8.27 相位延迟器 178 KU8,8:yY 8.28 红外截止器 179 :rb;*nY! 8.29 21层长波带通滤波器 180 9lq5\ tL- 8.30 49层长波带通滤波器 181 1
uU$V
= 8.31 55层短波带通滤波器 182 M(C">L]8 8.32 47 红外截止器 183 "1a;);S=*) 8.33 宽带通滤波器 184 !<];N0nt# 8.34 诱导透射滤波器 186 tD.#*.7 8.35 诱导透射滤波器2 188 ("a@V8M`$F 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ?'k_K:_ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 g
*,O 8.35 增益平坦滤波器 193 HT.,BF 8.38 啁啾反射镜 1 196 :?xH)J,imk 8.39 啁啾反射镜2 198 /r7xA}se^ 8.40 啁啾反射镜3 199 yY8zTWji_ 8.41 带保护层的铝膜层 200 6:8s,a3&[k 8.42 增加铝反射率膜 201 =`+D/
W\[Y 8.43 参考文献 202 qx#M6\L! 9 多层膜 204 dXTD8 )& 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 UwUHB~<oE 9.2 内部透过率 204 ()aCE^C 9.3 内部透射率数据 205 wNmpUO ? 9.4 实例 206 ?s2-iuMPd 9.5 实例2 210 ~v8X>XDL?T 9.6 圆锥和带宽计算 212 `NtW+v 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 5t%8y!s 10 光学薄膜的颜色 216 Ck/44Wfej 10.1 导言 216 xKu#OH 10.2 色彩 216 Rw'}>?k] 10.3 主波长和纯度 220 %_|KiW 10.4 色相和纯度 221 3wfcGQn|sD 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 4. R(`#f 10.6 色差 226 n3p@duC4 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =dQ[I6 10.8 颜色渲染指数 234 $W7}Igx# 10.9 色差计算 235 0`E G-Hw 10.10 参考文献 236 _*H Hdd5I 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 %Yu~56c- 11.1 短脉冲 238 D?dBm 11.2 群速度 239 i
bzY&f 11.3 群速度色散 241 qWH^/o 11.4 啁啾(chirped) 245 :E-$:\V0}k 11.5 光学薄膜—相变 245 M0$MK> 11.6 群延迟和延迟色散 246 a]p9[Nk 11.7 色度色散 246 BWxfY^,'&6 11.8 色散补偿 249 ~u%$ 9IhM 11.9 空间光线偏移 256 azZtuDfv 11.10 参考文献 258 /xUF@%rT 12 公差与误差 260 [7}3k?42X 12.1 蒙特卡罗模型 260 mo^E8t. 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 AE:(:U\ 12.2.1 误差工具 267 Ue
\A , 12.2.2 灵敏度工具 271 !L.R"8! 12.2.2.1 独立灵敏度 271 U,!qNi} 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ) p>Cf_[. 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 (#y2RF8j 12.3 参考文献 276
V.{HMeE4 13 Runsheet 与Simulator 277 8gavcsVE[ 13.1 原理介绍 277 ?EC\.{ 13.2 截止滤光片设计 277 }Nr6oUn 14 光学常数提取 289 &.E/%pQ` 14.1 介绍 289 MiZ<v/L2 14.2 电介质薄膜 289 HrE, K\^ 14.3 n 和k 的提取工具 295 g?80>-!bF 14.4 基底的参数提取 302 ou-#+Sdd 14.5 金属的参数提取 306 poAJl;T 14.6 不正确的模型 306 7RDmvWd-'? 14.7 参考文献 311 CzG[S\{+ 15 反演工程 313 4^r6RS@z 15.1 随机性和系统性 313 <-.@,HQ+ 15.2 常见的系统性问题 314 WOn<JCh] 15.3 单层膜 314 =Fc]mcJ69 15.4 多层膜 314 rG?5z" 15.5 含义 319 E"'u2jEG^ 15.6 反演工程实例 319 =RHtugwy 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ?lkB{-%rQ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 EmaS/]X[ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ng/h6
S 16.1 光学性质的热致偏移 329 B:X%k/{ 16.2 应力工具 335 6/ 5c| 16.3 均匀性误差 339 y7/4u-_c 16.3.1 圆锥工具 339 Sj I,v+ 16.3.2 波前问题 341 2->Lz 16.4 参考文献 343 0UJ6>Rj 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 VHPqEaR 17.1 引言 345 SZXSVz0j 17.2 操作数 345 PESvx>: 18 如何在Function中编写脚本 351 Z-lhJ<0/Pa 18.1 简介 351 K&&T:'=/ 18.2 什么是脚本? 351 v)np.j0V7 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 LCSvw 18.4 基础 352 ]*P9=!x|M 18.4.1 Classes(类别) 352 Pl=)eq YY 18.4.2 对象 352 7HVENj_b+M 18.4.3 信息(Messages) 352 0S:&wb 18.4.4 属性 352 U%pB 18.4.5 方法 353 adu6`2*$ 18.4.6 变量声明 353 $VQ;y|K+[ 18.5 创建对象 354 Dl.UbH
}= 18.5.1 创建对象函数 355 C-A?
mIC 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8x-19# 18.5.3 丢弃对象 356 P>rRD`Yy\ 18.5.4 总结 356 `Kg!aN 18.6 脚本中的表格 357 ~S<aIk0l 18.6.1 方法1 357 A{4,ih"5 18.6.2 方法2 357 q]yw",muT 18.7 2D Plots in Scripts 358 &[{sA; 18.8 3D Plots in Scripts 359 $}vzBuWHwN 18.9 注释 360 sCw>J#@2> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ;%d<Uk? 18.11 一个更高级的脚本 362 q)9n%- YgP 18.12 <esc>键 364 ;`^_9
K 18.13 包含文件 365 /ojx$Um 18.14 脚本被优化调用 366 Q>Klkd5( 18.15 脚本中的对话框 368 ;6 W[%{ 18.15.1 介绍 368 7_PY%4T" 18.15.2 消息框-MsgBox 368 YvN]7tcb 18.15.3 输入框函数 370 VoYL}67c 18.15.4 自定义对话框 371 9]Ue%%vM 18.15.5 对话框编辑器 371 ;=$;h6W0 18.15.6 控制对话框 377 ,,G"EF0A 18.15.7 更高级的对话框 380 (/nnN4\= 18.16 Types语句 384 s<"|'~<n 18.17 打开文件 385 $b2~Wj*-nJ 18.18 Bags 387 baD063P; 18.13 进一步研究 388 C_>XtcU 19 vStack 389 ~tWh6-:|{J 19.1 vStack基本原理 389 IV!`~\@ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 OQfFS+6 19.3 五棱镜 393 c*7|>7C$i 19.4 光束距离 396 LDEc}XXb 19.5 误差 399 .-iW
T4Dn 19.6 二向分色棱镜 399 pt"9zkPj 19.7 偏振泄漏 404 k
L6s49 19.8 波前误差—相位 405 2DPv7\fW 19.9 其它计算参数 405 MG=8`J-` 20 报表生成器 406 Nc(CGl: 20.1 入门 406 ms5?^kS2O 20.2 指令(Instructions) 406 Y!oLNGY 20.3 页面布局指令 406 vE^tdzAG 20.4 常见的参数图和三维图 407 JDR_k 20.5 表格中的常见参数 408 q\?p' i 20.6 迭代指令 408 J;Z2<x/H 20.7 报表模版 408 ?ckV 2
20.8 开始设计一个报表模版 409
;AJQ2 21 一个新的project 413 dq.U#Rhrx 21.1 创建一个新Job 414 17?YN< 21.2 默认设计 415 7^#f)Vp 21.3 薄膜设计 416 Z5(9=8hB/ 21.4 误差的灵敏度计算 420 W;=Ae~ 21.5 显色指数计算 422 2<B'PR-??y 21.6 电场分布 424 3%5YUG@ 后记 426 hT 1JEu 对书籍感兴趣可以加工作号微信18019382784
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