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    [分享]吉田邦夫与AJI树脂型WLO技术路线 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-12
    前言 "g}mxPe  
    PCKgdh},  
    晶圆级光学(WLO)两大主流路线:HOYA代表玻璃高温模压路线,另一支就是AJI树脂UV纳米模压路线,而吉田邦夫(Kunio Yoshida)正是这条路线最核心的发明人。 行业很多从业者听过AJI工艺,但很少将整套双面一体成型、防翘曲支架结构的专利脉络与吉田邦夫绑定;全网缺少系统性梳理,本文结合JP2008-276724母专利、中日同族专利与产业落地情况完整解析。 En-BT0o  
    一、吉田邦夫技术履历 kD1[6cJ!=.  
    1. <uq#smY  
      日本研发阶段:AJI株式会社 × 昭和电工联合研发 吉田邦夫早期任职アジ株式会社(AJI),与昭和电工协同开发UV树脂晶圆模压工艺。JP2008-276724 是该体系奠基母专利,专利权归属AJI、昭和电工,吉田邦夫为第一发明人。 这套专利奠定消费级摄像头、ToF传感器树脂基WLO量产工艺,也是全球最早规模化论证双面同步转印成型的专利组。
    2. f4{O~?=  
      国内创业阶段:江苏核心技术负责人 离开AJI之后来华创业,持续深耕晶圆级微光学复制工艺。持续申请大量中国发明专利、实用新型专利,技术方向延续日本时期思路:
    • X|]&K  
      双面一体UV模压成型;
    • JR>v  
      晶圆外围一体化支撑支架抑制翘曲;
    • gLp7<gx6  
      大尺寸晶圆、多层堆叠透镜批量制造;
    • X'[93 C|K  
      适配Ni电铸模具的高折杂化UV树脂成型体系。
    BhFyEY(  
    行业提示:公开网络、知乎极少专门文章介绍光电领域吉田邦夫,检索姓名极易被骨科、影视同名人物覆盖;圈内资料主要沉淀在专利库、光行天下论坛与行业线下研讨会。
    o}QtKf)W  
    Ujb7uho  
    二、核心技术方案与重点专利解读 Ig b@aGA  
    1)母专利:JP2008-276724(造型方法以及造型装置) 3jx5Lou)&  
    e:2e5gz  
    传统工艺痛点 常规单面模压流程:先压一面→固化→翻面→再压另一面。两次成型引入二次对位误差;超薄树脂晶圆固化收缩引发翘曲、面型偏移;良率很难支撑多层堆叠WLO模组。 L{)*evBL  
    leY fF  
    吉田邦夫核心创新构思 上下两套独立镍电铸模具,双面同步/分步UV转印,单套工序在树脂坯体两面同时复刻透镜曲面。 JSKAlw  
    • xn1=@0 a  
      减少一次翻面转移工序,消除二次对位偏心;
    • {Ee[rAVGp  
      两面树脂同步固化,应力分布更均衡;
    • Mzfuthq=@  
      支持微透镜阵列、双面非球面WLO元件一体成型。
    yex4A)n9"'  
    衍生布局:TW、中国大陆同族专利,覆盖成型装置、模具复制方法、脱模工艺。 iH&BhbRu_  
    v>ygr8+C,  
    2)标志性延伸专利:一体化支架构件防翘曲方案 iLhxcM2K  
    slPLc  
    代表公开专利:CN221476244U、CN115837764A(江苏敏而精密) 行业长期难题 高折射率UV杂化树脂固化收缩率高,6/8寸大尺寸晶圆成型后极易四周拱曲;翘曲直接造成后续切割、镀膜、堆叠装配失效。 &v}c3wL]  
    uPZ<hG#K  
    支架结构方案要点 在晶圆有效光学区域外围,一体成型连续环状支撑围堰(支架构件),与透镜阵列同片一体成型。 r*Iu6  
    1. q,ur[ &<  
      成型阶段支撑整片晶圆,约束树脂自由形变;
    2. <Wz+f+HC  
      平衡固化产生的面内应力,大幅降低全域翘曲量;
    3. \9FWH}|  
      切割工序再去除外围支架,保留中间有效光学芯片。
    -`d9dJ dB  
    目前国内大量树脂WLO厂商改良防翘曲方案,底层思路均借鉴该专利架构,也是现阶段专利规避重点方向。 Fqr}zR)  
    ItLP&S=  
    3)配套工艺体系:Ni电铸模具+高折UV树脂 -XcX1_  
    B`I9  
    吉田邦夫体系完整工艺链条: 光学母模 → 镍电铸复制工作模具 → 上下模具对位合模 → 注入液态高折UV树脂 → 双面UV曝光固化 → 脱模形成整片WLO晶圆 → 划片分割 早期与昭和电工共同匹配专用光学树脂,兼顾折射率、低收缩、模具脱模性,适配手机摄像头、3D传感微透镜量产。 v J `'x  
    A]x'!qa@=  
    三、AJI吉田树脂WLO路线 VS HOYA玻璃WLO路线对比 !/]vt?v#^  
    cx_.+R  
    对比维度
    cwK+{*ZH/  
    吉田邦夫 AJI 树脂UV模压WLO
    =A yDVWpE  
    HOYA 玻璃高温模压WLO
    uW@o,S0:  
    基材材料
    <Oyxzs  
    UV固化有机杂化树脂
    9bE/7v  
    光学玻璃晶圆
    )U$]J*LI  
    成型原理
    heF<UMI  
    常温/低温UV光固化纳米转印
    3B+ F'k&#  
    高温高压热模压
    +WGL`RP  
    核心优势
    sPKyg  
    1.设备投入更低,量产成本优势明显 C{"uz_Gh  
    2.适合大面积晶圆批量复制 @-g'BvS  
    3.双面一体成型,对位精度可控 %b)~K|NEFf  
    4.微透镜阵列结构易实现
    (";{@a %  
    1.耐热性、温漂性能优异 zc,kHO|  
    2.透光波段更广,IR波段损耗更低  ~wX4j  
    3.长期光学稳定性强,耐候性好 $IdY(f:.:5  
    4.高功率光学场景耐受度更高
    fxR}a,a  
    固有短板
    }zK/43Vx  
    1.树脂存在温胀系数偏大问题 !uno!wUIYd  
    2.耐温上限有限,不适合高温车载高阶场景 slV7,4S&!  
    3.长期抗老化、抗UV弱于玻璃
    MZ/PXY  
    1.高温模压设备昂贵,产线投资巨大 x?|C-v  
    2.难以一次性双面成型,工艺复杂度高 +ISXyGu  
    3.单片制造成本高,大批量性价比不足
    -4}I02  
    主流应用
    Z T5p  
    消费手机摄像头、ToF、VR微透镜阵列、低端车载感知
    xUG:x4Gz+  
    高端车载镜头、AR光学元件、工业视觉、高可靠性光学模组
    ":o1g5?  
    技术壁垒重心
    =z]8;<=pL  
    成型工艺、防翘结构、模具对位系统、树脂配方
    'yq'J)  
    特种光学玻璃基材、耐高温模具、高温模压设备
    4Pm+0=E   
    四、工艺路线优势与现存瓶颈 |H(Mmqgk  
    优势 .F*2]xj@"  
    1. 6BPZ2EQ  
      双面成型方案直击多层WLO最大痛点 多层堆叠晶圆镜头对偏心、面型一致性极其敏感,双面一体成型天然优于两次单面成型方案。
    2. tFYIKiq2  
      支架围堰结构有效解决大尺寸晶圆翘曲 在树脂材料收缩缺陷无法彻底根除前提下,通过结构设计进行应力补偿,落地可行性强。
    3. 9gz"r  
      产业链门槛相对适中,便于国产化 不需要玻璃熔炼、高温模压整套重资产,国内近年多家企业沿着该技术路线进行开发。
    &dC #nw  
    X?F$jX|c  
    瓶颈与挑战 N$j I&SI?}  
    1. jE&Onzc  
      专利壁垒 JP2008-276724家族、支架构件专利形成基础专利墙;国内厂商需要做工艺结构规避或开展专利许可谈判。
    2. te+5@k#t  
      材料物理上限 有机树脂CTE远高于玻璃,温度变化下焦距漂移问题限制高端车载、工业光学应用。
    3. .W>8bg'u9  
      工艺控制门槛极高 想要发挥双面模压优势,对模具平行度、UV光照均匀性、树脂填充气泡控制、合模压力控制要求严苛;参数窗口窄,量产良率调试周期长。
    l5jW`cl1  
    R+s_uwS  
    五、产业现状与未来趋势 X> *o\   
    1. &M,"%w!  
      消费电子领域:树脂WLO持续渗透低端摄像、距离传感器;高端旗舰依旧偏好玻璃方案;
    2. tv_Cn w  
      AR/MR光波导配套微透镜、LiDAR准直微阵列成为树脂模压路线新赛道;
    3. >v+ia%o  
      吉田邦夫在国内持续迭代新一代工艺,重点优化超薄晶圆成型、多片晶圆堆叠一体化制造;
    4. 9t$%Tc#Z  
      行业分化:一部分企业直接参考AJI工艺路线,另一部分投入资源研发替代成型方案,绕开双面模压与支架结构专利保护范围。
    , yC-QFQE  
    结语 z~g7O4#  
    吉田邦夫算不上大众熟知的光学名人,但在晶圆级树脂模压细分赛道属于奠基级工程师。他开创的AJI双面UV模压+应力支撑结构,定义了树脂基WLO一条可规模化落地的技术范式。 WLO行业长期并存玻璃与树脂两条路线,不存在绝对优劣;厂商选型核心依据温度工况、成本预算、光学指标要求。随着微光学需求爆发,这条源自日本、正在国内持续演化的工艺路线,依旧会长期影响国内晶圆级光学产业链发展。 LX %8a^?;  
    [ 此帖被威武的兔子在2026-08-12 14:38重新编辑 ]
     
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