我用这台显微镜做反射式成像,物镜即作为objective也作为condenser。光学部分分为两块,照明及成像。在300nm以上,成像质量是不错的,慧差和球差不明显,但到了250nm以下就比较糟了。Zeiss Axio Imager和Plan-Neofluar 10x理论上是可以用在深紫外的,虽然估计他们可能假设工作在300nm就行了。 *#Ia8^z=p
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我现在首先怀疑照明灯泡前的collector对250nm有较大球差,加上灯泡后的反射镜,使得出射光束不是非常平行,导致最后成像产生像差。那么我计划是买现成的反射镜,但自己设计石英透镜使其对深紫外到可见光波段有较小像差。 ?yq=c
HB5-B XBU
有几个问题: 8uLS7\,$z
mR@d4(:J?
1. Zemax可以设计照明光学器件吗? ,;w~ VZ4
2. 照明这部分是不是只要做到平行光束以及较小像差色差就行了,应该不需要考虑后面的物镜等等其他器件吧。 Nr2,m"R{
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请指点!