[技术]衍射级次偏振态的研究 [复制链接]

摘要 'zT7$ .L  
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光栅结构广泛应用于各种光学应用场景，如光谱仪、近眼显示系统、脉冲整形等。快速物理光学软件VirtualLab Fusion通过使用傅里叶模态方法(FMM，也称为RCWA)，为任意光栅结构的严格分析提供了通用和方便的工具。为此，复杂的一维或二维周期结构可以使用界面和调制介质进行配置，这允许任何类型的光栅形貌进行自由的配置。在此用例中，详细讨论了衍射级次的偏振态的研究。 oIIi_yc  
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任务说明 8m `Y  
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简要介绍衍射效率与偏振理论 aRI.&
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某个衍射级次（𝑛）的效率表示有多少的辐射功率被衍射到这个特定的级次中。它是由复数值瑞利系数计算出来的，瑞利系数包含了每个衍射级次（矢量）电磁场的全部信息。瑞利系数本身是由FMM对光栅的特征值问题进行严格分析的结果。 $=^}J6  
如果在TE/TM坐标系(CS)中给出瑞利系数，则可以计算衍射效率： (nuTfmt>  
@T>^ >  
其中，n_in/n_out为覆盖层和衬底层的折射率，ϑ_in/ϑ_out为所分析的阶次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示辐射光的振幅。 R~hIoaiN  
如果瑞利系数沿𝑥、𝑦和𝑧给出瑞利系数，则必须应用以下方程： _^zs(  
~|ZAS]  
因此，必须考虑所给出的瑞利系数的坐标系。默认情况下，光栅坐标系中为。 H1KXAy`&  
M(C}2.20  
光栅结构参数 )hoVB  
研究了一种矩形光栅结构。 6"}F KRR  
为了简化设置，选择光栅配置，只允许零阶(R_0)反射传播。 7Q~W}`Qv'  
根据上述参数选择以下光栅参数： KM"?l<x0Y  
光栅周期：250 nm i.?rom  
填充因子：0.5 qs_cC3"=%=  
光栅高度：200 nm *8yC6|wL?  
材料n_1：熔融石英（来自目录） A=e1uBGA  
材料n_2：二氧化钛（来自目录） F{.g05^y  
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O*,O]Q  
偏振态分析 ZC<EPUV(  
现在，用TE偏振光照射光栅，并应用圆锥入射角（𝜑）变量。 f4NN?"W)  
如前所述，瑞利系数的平方振幅将提供关于特定级次的偏振态的信息。 D;+Y0B  
为了接收瑞利系数作为检测器的结果，需要选择光栅级次分析器件中的单个级次输出，并选择所需的系数。 ncOl}\Q9  
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模拟光栅的偏振态 XbFo#Pwk  
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瑞利系数现在提供了偏振态的信息： (I>SqM Y  
在圆锥入射角为0（𝜑=0）时，。这说明衍射光是完全偏振的。 -O/[c  
对于𝜑=22°，。此时，67%的光是TM偏振的。 )-}<}< oO  
对于𝜑>50°，系数接近为常数，因此偏振态也是常数。 M\IdQY-c  
Xqew~R^MP  
Passilly等人更深入的光栅案例。 U-f8D  
Passilly等人的工作研究并优化了亚波长光栅下衍射光谱的偏振态，以获得不同状态之间的高度转换。 SNSoV3|k-  
因此，他们将模拟结果与制作样品的测量数据进行了比较。 *p0n^XZ% ?  
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光栅结构参数 |q\i, }  
在本文中，研究了两种不同的制备光栅结构。 qvhG^b0h  
由于加工造成的光栅的理想二元形状的一些偏差是可以预料的，而且确实可以观察到：在基板和侧壁上存在不完全平行的欠刻蚀部分。  z{V#_(  
由于缺少关于制作结构的细节，我们将其简化为VirtulLab Fusion中的模拟。 YWV)C?5x&  
但是如果有可用数据，就可以详细分析光栅的复杂形状。 ?@Tsd@s~r  
a_b+RMy  
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光栅#1——参数 $`0,N_C<}  
假设侧壁倾斜为线性。 vQ$"|8,  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 =i7CF3  
为了实现光栅脊的梯形形状，采用了倾斜光栅介质。 Nr]guC?rE  
光栅周期：250 nm CR#-!_=4  
光栅高度：660 nm $,I@c"m{  
填充因子：0.75（底部） ;4v`FC>  
侧壁角度：±6° $!z.[GL  
n_1：1.46 >^<;;8Xh  
n_2：2.08 A L|,\s  
0 EA3>$;  
]f wW dtz1  
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光栅#1——结果 X;vUz  
这两幅图对比之下匹配度很高，特别是图表的趋势。 Lc-WfzT  
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 S'@Ok=FSy  
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光栅#2——参数 tBsvi%F  
假设光栅为矩形。 l%yQ{loTh  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 6bf!v  
矩形光栅足以表示这种光栅结构。 j4=\
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光栅周期：250 nm >29c[O"
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光栅高度：490 nm _Ii=3Qsf  
填充因子：0.5 ZHoYnp-~z  
n_1：1.46 
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n_2：2.08 0+e0<'  
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光栅#2——结果 i?mUQ'H  
这两幅图对比之下再次显示出非常好的匹配度，特别是图表的趋势。 Rdj^k^V+a1  
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 AkO-PL  
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