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Mirau干涉测量法是一种众所周知的技术,它可以以高达所用波长的百分之一的精度测量表面。为了充分研究和设计这样的系统,非顺序仿真方法很有帮助,因为它会自动将系统内部反射产生的干涉效应考虑在内。 qGq]E`O ~6=6YP 因此,本周我们不仅展示了这样一个装置,还通过研究不同形状标准具的干涉效应来详细阐述了测量原理。
!RJ@;S cEf"m?w Mirau 干涉仪的仿真 @~vg=(ic( oi`L ;w|] 在此用例中,我们通过非序列通道概念在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪,仿真了典型的干涉条纹图案。 uKzx >\}?1 P,ZQ*Ju 具有平面或曲面的标准具建模 ,7:GLkj O-[YU%K3? 我们设置了具有平面和曲面的光学标准具。利用非序列场追迹技术,研究了干涉条纹的差异。 K
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