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    [技术]干涉测量的非序列仿真 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-26
    Mirau干涉测量法是一种众所周知的技术，它可以以高达所用波长的百分之一的精度测量表面。为了充分研究和设计这样的系统，非顺序仿真方法很有帮助，因为它会自动将系统内部反射产生的干涉效应考虑在内。 Y[ ?`\c|  
     )=Zsv40O  
    因此，本周我们不仅展示了这样一个装置，还通过研究不同形状标准具的干涉效应来详细阐述了测量原理。 W<Z$YWr  
     '6X%=f'^b  
    Mirau 干涉仪的仿真 dhW<p 5  
    GQ<Ds{exs>  
    在此用例中，我们通过非序列通道概念在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪，仿真了典型的干涉条纹图案。 Q<yAT(w  
    YN^T$,*  
    具有平面或曲面的标准具建模
    \e|U9;Mf  
    kxh 5}eB  
    我们设置了具有平面和曲面的光学标准具。利用非序列场追迹技术，研究了干涉条纹的差异。 VJg,~lQN#t  
     
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