时间地点 oei2$uu
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） [`|g j
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ]hi5 nA
课程时间：2026/5/28（四）-5/29（五） m2PI^?|e
地点：深圳市光明区凤凰街道尚智科技园 1 栋 B 座 1503 *#CUZJN\
课程讲师：讯技光电工程团队成员 kG3m1: :
课程费用：3600RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) ]9NA3U7F
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课程简介： 6^"Spf]
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅 OOj }CZ6
的尺寸也越做越小。相应地，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用光 4xD`Z_U
之数字模型平台 VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。 @
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课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于 [I5}q&
光学超透镜的 Nanopillar 结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿 aO$I|!tl
真。该课程无需软件基础。 TKZ[H$Z
课程大纲： aqN6.t
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 Bh<6J&<n
➢ 光之数字模型平台原理介绍➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 % (x9~"
2. 光栅仿真算法比较 <GO 5}>}p8
➢ 薄元近似法（Thin Element Approximation） m e&'BQ
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） oD&axNk
➢ 周期单元近似法（Periodic Cell Approximation） 0}I aWd^4
3. 光栅严格分析实例 8(""ui 8
➢ 闪耀光栅 , FD RU
➢ 亚波长光栅与偏振转换 )V?:qCuY>
➢ 体全息光栅的波长和角度选择特性 ($r-&]y
➢ 谐振光栅耦合器 6k*,Yei
4. 光栅设计与优化 vKmV<*K
➢ 倾斜光栅结构参数优化 F!&$Z
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➢ 公差分析 YGf<!
➢ 蛾眼抗反射结构的设计与优化 TnQ"c)ta
➢ 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 8t
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5. 光栅系统级分析 .*Ylj2nM
➢ 晶圆检测系统 0;2"X [e
➢ 晶圆双面光栅图案的成像分析 
