背景介绍 3jZPv;9OC 在显微成像、激光加工、光存储与单分子探测等应用中，高数值孔径物镜承担着“把光压缩到极小空间”的关键任务。物镜聚焦后的焦斑尺寸、形状、能量分布以及偏振特性，直接决定系统的分辨率、加工精度和探测灵敏度。因此，如何准确分析高数值孔径物镜的焦斑，已成为现代光学设计中的核心问题。本文结合VirtualLab Fusion的仿真思路，对这一典型案例进行简要分析。 :V*c9,>ZO 对于低数值孔径系统，工程师常使用傍轴近似和标量衍射理论评估焦斑。但当数值孔径不断增大，光线入射角显著提升，纵向场分量增强，偏振与矢量效应变得不可忽略，传统方法往往会低估焦斑结构的复杂性。例如，在高NA聚焦条件下，不同偏振态会导致焦平面能量分布明显变化，甚至影响主瓣尺寸和旁瓣对比度。此时，采用更严格的矢量传播模型就显得非常必要。 bW\OKI1 建模任务： 87l(a,#J 如图1所示为高NA系统，入射光为266.08mm的平面波，光束直径3mm，x偏振。物镜的数值孔径为0.85，需要分析焦斑的分布。 -f@~{rK.L 图1. 高数值孔径物镜焦斑分析建模任务
建模步骤 Au<NUc
2 如图2所示，首先导入高数值孔径的物镜。在VirtualLab Fusion中，可以使用Lens System创建镜头组，也可以利用其丰富的接口从外部导入镜头。添加光源和探测器，依次连接，将探测器放置在焦面上，设置到物镜的距离为748.75μm L 'B=
=# 图2. 导入高数值孔径物镜（左）以及光路编辑器（右）
因为在高数值孔径物镜聚焦下的焦场具有纵向分量，所以需要对各个场分量进行探查。添加两个camera detector和一个electromagnetic field detector。如图3，设置其中一个camera detector包含Ez分量，则会显示|Ex|^2+|Ey|^2+|Ez|^2的分布。另一个camera detector不包含Ez分量，则显示横向场分量|Ex|^2+|Ey|^2。 C ?JcCD2 图3. 探测器设置
为了实现对高数值孔径物镜的精确场追迹，需要使用广义德拜积分。在VirtualLab Fusion中提供了三种傅里叶算法：快速傅里叶变换（FFT）、半解析傅里叶变换（SFT）和逐点傅里叶变换（PFT）。利用逐点傅里叶变换、逆向快速傅里叶变换和逆向半解析傅里叶变换便可以实现从高数值孔径物镜到探测器的广义德拜积分，如图4所示。 ^&F8NEb=2> 图4. 广义德拜积分设置
结果呈现 F`IV9qv 高数值孔径物镜的光线追迹结果如图5所示 [0<N[KZ) 图5. 光线追迹结果以及点列图
场追迹的结果如图所示，图6左边为探测器#609，结果包含Ez分量，右边为探测器#611，结果不包含Ez分量。 Z`y%#B6x. 图6. 场追轨结果-camera detecor
电磁场探测器#611可以显示完整显示各个场分量，如图7所示。第一行展示了Ex、Ey和Ez分量电场分布，第二行展示了Hx、Hy和Hz磁场分布。 F6J,: 图7. 场追迹结果-electromagnetic field detector
VirtualLab Fusion的优势在于，它并非只给出单一结果，而是能够围绕光场传播、聚焦和成像过程建立完整分析链路。仿真的重点通常放在焦区三维电场分布分析。通过VirtualLab Fusion，可以观察焦点附近横向与纵向的光强变化，并提取焦斑半高全宽、轴向延伸长度和能量集中度等指标。与传统二维点图不同，三维结果更能揭示高NA聚焦的本质：焦斑并不是一个简单的圆点，而是由主峰、旁瓣及可能存在的非对称结构共同构成。若入射为线偏振光，焦斑往往表现出一定方向性；若改为径向偏振光，则可能获得更强的纵向电场与更紧凑的聚焦效果。 eLW D?-v% 在案例分析中，还应关注参数变化对焦斑的影响。第一，数值孔径越大，理论上横向分辨率越高，但系统对像差和装调误差也更敏感。第二，入射光束的填充程度会改变物镜有效利用率，欠填充会削弱高角度光线贡献，导致焦斑变大；过度填充则可能增加边缘衍射效应。第三，不同偏振态对焦斑结构影响显著，这是高NA系统区别于普通聚焦系统的重要特征。借助VirtualLab Fusion，设计者可以快速比较多种方案，而不是依赖反复试验。 hC2 @Gq 从工程价值看，这类仿真不仅用于“看焦斑”，更用于指导系统优化。例如，在激光微纳加工中，希望获得尽可能小且能量集中的焦斑，以提升加工精度；在共聚焦显微中，则需要在分辨率和景深之间取得平衡；在光纤耦合或荧光激发场景中，还要考虑焦斑与目标结构的模式匹配。VirtualLab Fusion提供的场分布、截面分析和参数扫描能力，能够帮助工程师在设计早期就发现问题，减少样机试错成本。 j;6kN-jx 总结 .Y|5i^i 9{ 总体来看，高数值孔径物镜焦斑分析的难点，在于系统已进入典型的非傍轴、强矢量耦合区域，简单公式难以全面描述其行为。VirtualLab Fusion通过更完整的物理建模与可视化分析，为高NA聚焦设计提供了高效可靠的工具。对于希望提升显微、加工或检测性能的研发团队而言，掌握这类仿真方法，不仅能加深对焦斑形成机制的理解，也能显著提高光学系统的设计效率与落地质量。 !E"&#>r
