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摘要 |l+ 5E 扫描干涉测量是一种表面高度测量技术。通过利用白色光源的低相干性，只有当路径长度差落在相干性长度内时才出现干涉图案。因此，它能够实现非常精确的测量，这一特性在光学相干断层扫描（OCT）的医学成像中得到了利用，OCT正是利用了这一物理原理。VirtualLab Fusion在单个平台上的各种可交互建模技术有助于对相干现象进行高效建模。在这个例子中，构造了一个带有氙灯的迈克尔逊干涉仪，并用于测量具有平滑调制表面的样品。 2bG3&G
83 t/ \x,Q
 /o 'lGvw PS+~JwD Uc 建模任务 W.jXO"pN Y_+#|]=$B  111A e *U 模拟与设置：单平台交互操作 -mG`* 0
sg2% BkTI 建模技术的单平台交互操作 1(IZ,*i
^4^N} 7>5
 It&CM,=t z06,$OYz 连接建模技术：光源 \WE&5
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 U{M3QOF 1*dN. v:5 频域方法 kex V~Q xwof[BnE Z  n>j2$m1[ # 5)/B 时域方法 eDZ8F^0 \+O.vRc"M  6` TwP\!$/ 7` ;sX?R 交互式建模技术：消色差 |; wc8; k !0O[U  ;6[6~L%K} j0; ~2W#G* 消色差：镜头系统组件 4i)5=H ' !7>*<  D~ Y6%9 8e*skL 交互式建模技术：分束器 + ?o!"SJ e! *] y&W
 ?0qD(cfx< /)Cfm1$ic 交互式建模技术：自由空间传播 <Q9l'u]3$c rtJER?A  B\c_GX Uw
6Lq`zU^ 交互式建模技术：带样品的镜子 s"`~Xnf
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 &`l\Q\_[@ [:cD 带样本的镜子：采样界面 fe/;U =te OVi < d  AF{uF na
)4=86>XJT 连接建模技术：参考镜子 Qq`S=:}~x
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 =eU=\td^ 8Re[]bE 连接建模技术：探测器 \+R %KA/F
.h=n [`RB
 N<rq}^qo ]i.N'O< p 模拟结果 l&+O*=#Hh 模拟干扰条纹 v}j5G,
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 ay 7\Ae] Fpr dP*/ 模拟干涉条纹–伪色 $C7a #?YF,
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 M=Ze)X\E*' _HH vL= 方法比较：LPIA与TEA I2$DlEke
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^^"zjl*^ BrE#.g Jq 方法比较：频域法与时域法 e ^O:I
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 > k\pSV[ hAf/&yA@ 方法比较-伪色 i|1*b Z6'
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