切换到宽版

Zemax光学设计从入门到精通	《杂散光抑制与评估技术》	Zemax光学设计实践基础(陈家璧)	光学设计与光学元件
讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商	先进光刻机曝光系统光学设计	CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape	计算光学带来的成像革命(第2季)

498阅读
0回复

[技术]VirtualLab Fusion应用：导入包含微结构高度数据的位图文件 [复制链接]

上一主题下一主题

离线infotek

发帖: 7377

光币: 31026

光券: 0

只看楼主正序阅读楼主发表于: 01-20

摘要

建模结果与测量数据的比较对于任何光学元件的设计过程都非常重要。因此，有必要将测量到的高度剖面（例如微结构的高度剖面）导入建模软件，以评估真实元件的性能。因此，在本文档中，我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。

简介

步骤 1
- 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。

步骤 2
- 设置数据阵列的坐标、插值和外推法。

步骤 3
- 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米，因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。

步骤 4
- 检查导入数据阵列的高度值，并通过Manipulation菜单进行调整（例如，应用常数乘法）。

步骤 5
- 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack

步骤 6
- 将导入的数据阵列加载到采样界面

步骤 7 .
- 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小

步骤 8
- 如果需要，增加 TEA 算法的采样系数

导入的 DOE 的 3D 视图

使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器

我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中，我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整折射率等参数进一步优化。

分享到