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摘要 1^7hf;|#g N D(/uyI 生成一个自定义探测器来计算一维周期结构的衍射效率,这是一个用户定义范围内入射方向的函数。根据效率,可以在定义的视场内评估衍射效率的平均值和对比度,并且可以用于定义优化函数以便进行可能的参数优化。 =F]FP5V zxbpEJzpn W;'!gpa M42Ssn) 建模任务 X.f>'0i R3;Tk^5A V-Sd[ 任务: w[S pw<Z =u2l.CX 生成探测器来评估给定视场(FOV)的波导耦合光栅的性能(平均效率,均匀性)。 Ay5i+)MD Q@<S[Qh[. 探测器可用于分析透射或反射模式下的指定衍射级。 `.FF!P:{C* f78An 8 视场(FOV)的定义 x7:s]<kE Y2ZT.l 调用傅里叶模态法(FMM) si`A:14R [y'f|XN 使用探测器帮助浏览输入参数 5q;GIw^L g*e aJ-K? xQ 探测器结果的评估 )z73-M V" 0?\Zm)Q~( 作为结果,探测器会根据对特定衍射级次m作为一组平面波入射方向的函数的效率,来计算平均效率和均匀对比度。 TMlP*d# -0$55pa/@: 均匀对比度(或误差)由下式计算 }z _ 6K-_pg] TZ(cu> xLNtIzx 计算值在VirtualLab Fusion的探测器结果中显示。 Tx|Ir+f6L VY;{/.Sa 矩形光栅的波导耦合分析 w+#C-&z ;V*R*R
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