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摘要 nzI}w7>VU |,k,X}gP 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 QF 2Eg u\gPx4]4c
][R#Q;y< qI,4uGg 1. 建模任务 p-QD(+@M O+U9 p
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