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    [求助]新的镀膜机怎么样调整各种工艺参数呀？(包括离子源、修正版这些) [复制链接]

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    离线恶魔拉小手
    实习生
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-28
    各位大佬，新采购的镀膜机要怎么样调整各种工艺参数？(包括离子源、修正版这些)
     
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    离线xiezhizhi
    技术员
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    只看该作者 1楼 发表于: 2025-12-01
    BK7基底材料镀单层膜料1个1/4波长厚度逐个条件慢慢找
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    离线囊中蓄乾坤
    助理工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-12-16
    1.先调试电子枪和离子源找一个稳定的条件，比如电子枪光斑大小，速率稳定，真空稳定。离子源各项参数充气也要稳定。 MS#*3Md&y  
    2.然后再镀镀单层膜做均匀性，折射率。tooling。 z?Z"*z  
    3.重复性一定要做。 WFk%nO/  
    4.然后根据以上参数设计膜系。 hG#2}K_  
      以上每步做好参数调节记录，调试中有问题好去处理。 -?1R l:rM  
    UNiK6h_%  
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    离线yzhuang
    论坛版主
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    光券
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    只看该作者 3楼 发表于: 01-22
    先根据厂家给的经验参数进行试镀，只做单一材料的单层膜，将单层膜的电子枪参数与离子源参数根据实际情况进行优化，包括充氧量，寻找到吸收最小或都无吸收的工艺参数，然后再调整修正挡板，也可以在前期做工艺参数的时候同步调整。
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