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摘要 ,Qs%bq{t 7=%Oev&0g- 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角，元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此，它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中，将迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）用于衍射元结构的初始设计，然后将傅里叶模态法（FMM）应用于严格的性能评估。 =f!clhO
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DD2K>1A1 设计任务 pH3<QNq5
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 h+ud[atk. /3&MUB*z&y 纯相位传输的设计 &d0sv5&s
R0%M9;>1 使用迭代傅立叶变换算法（IFTA）进行纯相位传输设计。 L7hRFf-o
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 bf|ePGW? NBHpM}1xtU 结构设计 v2_` iwE
yM~bU mSg 在近轴假设下使用薄元近似（TEA）进行结构设计。 MqJ5 |C.q
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:1X N 使用TEA进行性能评估 'qvj[lpGr
BM'!odRv 在近轴假设下使用TEA进行评估，即与设计方法相同 &O^-,n
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=%8*_ 使用傅里叶模态法进行性能评估 a|"Uw
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5dB62dqN 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 7[w<v(Rc
s8)`w H ?
 "?.#z ]' ] 2 rr=F J 进一步优化–零阶调整 x Ek8oc
FF~r&h8H 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 VX&PkGi?o
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 'It8h$^j kw@^4n+M 进一步优化–零阶调整 U3N9O.VC
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 y;uR@{ 8'HS$J;C VirtualLab Fusion一瞥 V*{rHp{=p
[IQ|c?DxpL  0'fswa)
@J"tM. VirtualLab Fusion中的工作流程 ~y 2zl -X~mW
• 使用IFTA设计纯相位传输 =jJEl=*S •在多运行模式下执行IFTA )muNfs m •设计源于传输的DOE结构 k%sH0 9 −结构设计[用例] eM:J_>7t •使用采样表面定义光栅 3_ ~iq>l −使用接口配置光栅结构[用例] %KXiB6<4 •参数运行的配置 =i&,I{3 −参数运行文档的使用[用例] Cq"KKuf
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U~N7\Pa4 VirtualLab Fusion技术 1(Ta*"(0Ip
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