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    [技术]基于4f光学系统的周期性结构微小形变检测 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 14小时前
    张帆,樊文强,朱疆,祝连庆
    (北京信息科技大学光电测试技术及仪器教育部重点实验室 北京 100192)
    w;r -TLf  
    摘要:为了快速、直观地检测出周期性结构的微小偏移,提出了基于4f光学系统的周期性结构微小偏移检测方法。 首先使用VirtualLab Fusion 光学仿真软件进行理论研究,建立预设偏移的周期性微结构模型,构造了光学传递函数,利用4f空间滤波方法,获得与周期性微结构对应的像面幅值图。 经分析得出在透明基底的周期性结构中,不论尺寸大小,若偏移量在相邻特征尺寸间距的80%范围内,经拟合后幅值变化与微结构偏移量呈线性关系,且幅值变化位置与微结构偏移位置一致。 依据仿真的光学系统参数搭建了实验系统,实验结果与仿真一致,并且该套系统可以实现3.4mm×2.6mm的测量视场,分辨率能达5 μm,能够实时快速地对周期性结构材料进行位移或缺陷检测。 /Hx%gKU  
    关键词:位移检测;4f光学系统;光强分布;VirtualLab Fusion SQa.xLU  
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