通过连续减小CMOS传感器的像素尺寸,近几十年来已经实现了越来越好的空间分辨率,并且这种趋势有望继续。但是,这便将关注点放到位于每个像素顶部的微透镜上。当像素尺寸接近波长时,微透镜是否仍可以按预期聚焦光线?我们在选定的示例中使用VirtualLab Fusion研究了此问题。 UVz=QEuYb Tc9&mKVE%( 集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 j'\>Nn+
j[_t6Z 使用严格的FMM / RCWA,我们模拟了像素大小等于或小于2 µm的CMOS传感器,尤其是研究了微透镜的有效性。 ;&RUE [|y`y% 使用界面配置光栅结构
cZ6?P`X x6"/z 在VirtualLab Fusion中,光栅结构是在“堆栈”中配置的,根据光栅的几何形状,可以用一系列界面或特殊介质构造光栅结构。在这种使用情况下,说明了基于界面的光栅结构的配置。 -)p@BtMS f#*h^91x