传统意义上,Essential Macleod的设计是由一系列完全干涉的
薄膜组成,并只在基板的一侧形成膜层。而Stack是由一组膜层和基板组成,基板的两个面是平行的,以便在相同材料中传播角度相同。Stack中,膜层被介质(或基底)分开,介质(或基底)由其材料和厚度定义。入射介质和出射介质是半无限的,但其它介质的厚度都是有限的。另一方面,膜层是继续支持完全一致性,即完全干涉。这通常是真实膜层和基底的情况,即考虑基板后表面反射或者镀膜的情况。
V!)O6?l fS^!ZPe1 为什么介质或基板不支持干涉?这是一个
系统问题。基板的厚度通常以毫米而不是
纳米来测量,因此路径差异非常长。入射角、
波长和厚度的微小变化,虽然对路径差异的比例效应很小,但对它们所代表的相位变化有很大影响,因为许多波长都涉及到这些路径差异。当各种
光线组合在一起时,干涉条纹会被冲掉,只留下总的辐照度。在单个设计文档时,我们总是假设使用完全准直的单色光,其中入射角和波长变化的相应影响通常很小,可以忽略不计,从而在设计中存在完全相干效应。
DBLO|&2!z[ 图1.基板足够厚时,无需考虑干涉效应。如果考虑基板的干涉,要将基板看成一层薄膜,而整个系统看作一个膜系
Bn>8&w/P >>[G1 另一个问题是,如果角度或波长的变化仍然较大,即使设计中的层也显示出减少的干涉效应,那么会发生什么,什么叫做部分相干?此工具存在于Stack文档中。计算
参数包括光中缺少准直性(以圆锥半角表示)和缺少单色性(以
光谱带宽表示)的影响。这些在Design文档中不可用(除非在Stack中设置,稍后将介绍)。
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