摘要 a9p6[qOcd [w}KjV/yi 斐索
干涉仪是工业上常见的
光学计量
设备,通常用于高
精度测试光学表面的质量。在
VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下,我们建立了一个Fizeau干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,例如圆柱形和球形表面。结果表明,表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。
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0T<DHPQ1 rE4qPzL 通用探测器和探测器附加组件 H 2UR 1l+j^Dt'[
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