一种光学检测装置

近日，国家知识产权局信息显示，飞测思凯浦（上海）半导体科技有限公司申请一项名为“一种光学检测装置”的专利，公开号CN120028345A，申请日期为2025年01月。

专利摘要显示，本申请提供的光学检测装置，检焦光束经第一掩膜进入反射件，反射件的周围对入射的检焦光束进行反射，再经物镜成像在待检测晶圆表面，待检测晶圆将像进行反射再经物镜、反射件进入分束镜，经所述分束镜反射的像由所述第一探测单元获取，经分束镜透射的像进入所述第二掩膜，被第二掩膜透射的光束被第二探测单元获取；照明光束透过反射件的镂空位置以生成中间像，中间像经过物镜成像在待检测晶圆表面，再经所述物镜由所述成像单元获取，本申请通过在光路中使用特殊形状或位置的反射件，使得照明光束和检焦光束为同一波段，由于成像光束与聚焦光束都会经过物镜，即物镜仅使用一个波段，且对其工作距离无要求，降低了物镜设计、加工难度与制造成本。