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摘要 %S*{9hm/ d%RC 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 D6>2s\:>vp @|63K)Xy 设计和建模任务 W&&;:Fr f78An 8
%_RQx2 )4gJd?
8R 导入现有结构文件 XWS%zLaK 52 fA/sx 723bkJw
V 平面波 #\.,? A}9 波长(486,587,656)nm JORGj0v 视场角(40°) v9w'!C)b x方向线偏振光 %l}D. ml
gX]-\ wsIW
|@ 衍射透镜 {mZC$U' 波前相位相应 0=* 8
真实衍射器件结构 2jg- #fM#p+v
\?0&0;5 / ';0H_ 离焦 2Ga7$q 6y+Kjd/D
544X1Ww2 7\$qFF-y 球差 6r"eN%m #A1Z'y0
R7$:@<:g Ljxz.2LGr 像散 ,2j&ko1 Kwefs;<E?
Rot@x r7Hc >}`:Ac 彗差 "HElB9 iYORu3
@kpv{`Y =XucOli6 二阶彗差 xO^:_8=&: PP;}e
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三叶草像差 Ir`eL kbTm^y"
|Y$uqRdV { /K.3 VirtualLab Fusion 技术 Qy^1*j<@& 87<-kV
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