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摘要 N7Z(lI|a; =X%R*~!#Of 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 Q9Xmb2LN wd2P/y42;; 设计和建模任务 ~0Q\Lp); Xm0&U?dZB
NUxAv= xl Y_aP:+ 导入现有结构文件 iPtm@f,bI !Ed<xG/ iYmzk?U 平面波 {U+9,6.` 波长(486,587,656)nm _Oaso > 视场角(40°) "=v J} x方向线偏振光 f(9$"Vi p0:&7,+a, 8gu7f;H/k 衍射透镜 o#KPrW`XJ/ 波前相位相应 Kr+Bty 真实衍射器件结构 Xbsj:Ko]]U \e5,`
I_Mqh4]; Hi4@!] 离焦 SjNwT[.nr7 2kmna/Qa6
[K|>s(Sf* 3<1HqU 球差 G3^n_]Jb .ON$vn7
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v'2OHb# CH R?i1e 彗差 OB? 79l s'fcAh,c6
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)vrZg ?U.&7yY 二阶彗差 kosJ]q'U ;H#R{uR_<
vng8{Mx90* %;\2QI`R 三叶草像差 l.W 1$g %~v76;H<
Ul~}@^m]4} W2o8Fu VirtualLab Fusion 技术 OmUw.VH /-<m(72wF
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