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摘要 Dh`&B d=bKNA90 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 2B$dT=G neu+h6#H 设计和建模任务 HjK8y@j d\#yWY
>!1]G"U ^rfR<Q` 导入现有结构文件 ~:JAWs$\V -E\G3/*51 *N$XQ{o 平面波 4C?{p%3c 波长(486,587,656)nm R8[VD iM6E 视场角(40°) nX:E(9q7c x方向线偏振光 oA5Qk3b: K{_~W yRF sd\}M{U 衍射透镜 GImPPF 波前相位相应 sP^:*B0 真实衍射器件结构 *66EkCj dE8f?L'
"*#f^/LS I7Kgi3 离焦 ?jMM@O`Nu 5*2hTM!
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q ba<#e je$H}D 球差 |rJN x3Cn:F
D>jtz2y=D 'E#L6,& 像散 ,2!7iX z#RwgSPw6
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c),UO^EqV 彗差 8-+# !] e6'0g=Y#
J37vA zK% C4E}.``Hm 二阶彗差 !Yo2P" DA=LR
pqs!kSJV 0*]0#2Z 三叶草像差 W:<2" &7 ([$KXfAi]h
w$$pTk|&n a?Fz&BE VirtualLab Fusion 技术 SLP$|E; Z]LP18m9kl
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