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摘要 x{ ~-YzWho ^/R@bp#< 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 &X_I^* O<f_-n@G| 设计和建模任务 M O* m@ 6luCi$bL
0"u*K n dz5bW> 导入现有结构文件 /j
-LW1:N jb)z[!FbM 6,_CL M 平面波 3w{4G<I 波长(486,587,656)nm EPI mh 视场角(40°) <3HW!7Ad1 x方向线偏振光 w[PW-m^` [$.oyjd ~,R_ 衍射透镜 .IpwTke' 波前相位相应 k4pvp5}% 真实衍射器件结构 RZ|s[bU 1$@k@*u\
'4HwS$mW3 &[S)zR=? 离焦 0g]ABzTn HtY\!_Ea
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7. 三叶草像差 L$@RSKYp $Ae/NwIlc
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Xv VirtualLab Fusion 技术 2Y 6/,W ,vg8iRa
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