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摘要 foY]RkW9 blP8"(U 对于背光系统、光内连器和近眼显示器等许多应用来说,将光高效地耦合到引导结构中是一个重要的问题。对于这种应用,倾斜光栅以能够高效地耦合单色光而闻名。在本例中,提出了利用严格傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅的优化方法。优化后的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了其对光栅的倾角偏差和圆角边缘的影响。 x%T^:R gx eu2HG
!\$4A, |%rRALIY 建模任务 Jy[rA<x$ &|Rww\oJ
.m%5Esx jROh3kq 优化 L$ ^ew0C %kH,Rl\g
jaVx9FR+ {A%&D^o) 为了为倾斜光栅找到一组优化的参数,优化文档允许为目标值定义参数约束和权重值。更多信息请参见: 0C"2?etMx P!)F1U]!
参数优化文档的介绍 {}gL*2:EW$ C.H(aX)7 第一级次的参数优化 }s#4m zxd<Cq>d -- IewW =%u=ma; 结果——公差分析 B{S^t\T$ B4c;/W-
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