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摘要 XZBj=2~-3 |M _%QM. W8uVd zQ 线栅偏振器,可以使透射光产生线性偏振状态,是众多应用中常见的一种光学元件。由于它们的结构在亚波长范围内,因此必须对光的传播进行严格的处理。VirtualLab的偏振分析器及其内置的RCWA能够详细分析和优化,不仅是偏振器,还有抗反射结构和其他类型的光栅。它提供了与偏振有关的反射和/或透射衍射阶数的信息,同时还可以分析效率与波长和/或入射角的关系。 Q2R-z^pd 1HXlHic 任务描述 0Q*-g}wXfS u
S(@?m$ 本文件的主题是使用偏振分析器研究光栅的衍射阶数的偏振状态。 P7Z<0Dt\} Z]e4pR6! 光栅式光学装置中的偏振分析器 5)x6Q|-u .r6YrB@[' ;:^ Lv 编辑偏振分析器 t!l/` e%J |%3O)B Ix4 jof6( -该分析器计算了所定义结构的每个衍射阶数的两个正交偏振状态的效率之和(无论是透射还是反射)。 2:/u2K -为此,在相应系统的光栅组件中配置的光栅被使用。 8 +L7E- -效率之和可以从所有(传播)阶数中计算,也可以从用户定义的阶数范围中计算。 J{^n=X9M0J <q1'Li)_R 编辑偏振分析器 X#Ak'%J |Pj9ZG# _H/67dcz, -入射光束的偏振状态可以根据以下坐标系来定义。 ][rTQt m a. 光栅的坐标系 afV
P-m4L b.光源的坐标系 0JrK/Ma3 c.P-S坐标系 l92!2$]b d.TE-TM坐标系 CElPU`J,\[ 7rJ9
}/<I 偏振方向 0~:eSWz= bA0uGLc a.光栅坐标系 SkriX\p 琼斯矢量分别描述了沿光栅组件的X轴和Y轴的电场。 8_+vb#M U"/yB8!W b.光源坐标系 \ p1K(H ZtKQ]jV&@ 琼斯矢量分别描述了沿光源X轴和Y轴的电场。 A&;EV#]ge Iy6p>z| 非锥形入射的偏振方向 EK:Y2WZ N!.kq4$. c.p-s坐标系 q!9^#c '?z9,oW{ d.TE-TE坐标系 1Q0%7zRirI @-}D7? 入射平面由光栅表面的法向量和入射光线的方向向量定义(在非锥形情况下,光栅向量也在这个平面内)。p-极化状态与入射平面平行,而s-极化状态与之垂直。对于TE/TM极化,这也相应有效(TM:平行,TE:垂直)。 y`\mQ48V 9PUa?Bc`= 锥形入射的偏振方向 n=;';(wR[ u~
VswXc4 c.p-s坐标系 X9DM^tt mQmBf|Rl d.TE-TM坐标系 wK2yt? DBLA% {05 在锥形情况下,光的入射方向不再是由表面法线和光栅矢量定义的平面内。同样,入射光线的偏振状态是根据入射方向和光栅表面的法线矢量形成的入射平面来定义的。 ^l&nB |